LCP-25 Experimental Ellipsometer Featured Image

Эксперыментальны эліпсометр LCP-25

Кароткае апісанне:

Падрабязнасці пра прадукт

Тэгі прадукту

Уводзіны

Ручны эліптычны палярыметр выкарыстоўвае метад экстынкцыі для вымярэння таўшчыні і паказчыка праламлення плёнкі, а таксама ўручную рэгулюе адхіленне і кут адхілення выпрабавальнага працэсу. Эліпсаметрыя шырока выкарыстоўваецца пры вымярэнні дыэлектрычнай тонкай плёнкі на цвёрдай падкладцы. У метадзе вымярэння таўшчыні плёнкі яе можна вымераць з самай тонкай і высокай дакладнасцю.

Тэхнічныя характарыстыкі

Апісанне	Тэхнічныя характарыстыкі
Дыяпазон вымярэння таўшчыні	1 нм ~ 300 нм
Дыяпазон кута здарэння	30º ~ 90º, Памылка ≤ 0,1º
Кут перасячэння палярызатара і аналізатара	0º ~ 180º
Дыскавая вуглавая шкала	2º на шкалу
Мін. Чытанне Вернье	0,05º
Вышыня аптычнага цэнтра	152 мм
Дыяметр рабочай стадыі	Φ 50 мм
Габарытныя памеры	730x230x290 мм
Вага	Прыблізна 20 кг

Спіс частак

Апісанне	Колькасць
Эліпсометр	1
Ён-лазер	1
Фотаэлектрычны ўзмацняльнік	1
Фотаячэйка	1
Крэмніевая плёнка на крамянёвай падкладцы	1
CD з праграмным забеспячэннем для аналізу	1
Кіраўніцтва па эксплуатацыі	1